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Magnetic field enhanced radio frequency ion source and its application for si-incorporation diamond-like carbon film preparation

引用

Plasma Science and Technology 2020年第2期22卷 79-86页

作者： Jiping YIN Qing WANG Xinlong WU Chunyu CHENG Dechun BA Zeng LIN School of Mechanical Engineering&Automation Northeastern UniversityShenyang 110819People's Republic of China Key Laboratory of Implant Device and Interface Science of Liaoning Province Northeastern UniversityShenyang 110819People’s Republic of China

Various ion sources are key components to prepare functional coatings,such as diamond-like carbon(DLC)*** this article,we present our trying of surface modification on basis of si-incorporation diamond-like carbon(si-DLC)produced by a magnetic field enhanced radio frequency ion source,which is established to get high density plasma with the help of magnetic *** proper deposition process,a contact angle of 111°hydrophobic surface was achieved without any surface patterning,where nanostructure siC grains appeared within the amorphous *** surface property was influenced by ion flow parameters as well as the resultant surface *** magnetic field enhanced radio frequency ion source developed in this paper was useful for protective film applications.

关键词： magnetic field enhanced radio frequency ion source si-incorporation diamond-like carbon film microstructure hydrophobicity protective film

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