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文献类型

  • 3 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 3 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 3 篇 工学
    • 3 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 机械工程

主题

  • 3 篇 si-b-n复合薄膜
  • 1 篇 等离子体化学相沉...
  • 1 篇 负偏压
  • 1 篇 等离子体化学气相...
  • 1 篇 金属
  • 1 篇 硅-硼-氮复合薄膜
  • 1 篇 化学气相沉积
  • 1 篇 rf-pcvd装置
  • 1 篇 摩擦学性能
  • 1 篇 表面处理
  • 1 篇 复合表面改性
  • 1 篇 组成
  • 1 篇 结构

机构

  • 3 篇 中国地质大学

作者

  • 3 篇 于翔
  • 3 篇 王成彪
  • 2 篇 于俊峰
  • 1 篇 江功武

语言

  • 3 篇 中文
检索条件"主题词=Si-B-N复合薄膜"
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si-b-n复合薄膜的结构及摩擦学性能研究
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摩擦学学报 2004年 第2期24卷 119-122页
作者： 于翔 王成彪 江功武 中国地质大学工程技术学院 北京100083
利用三极射频 直流负偏压 等离子体增强化学气相沉积技术在45#钢表面制备了附着力较强的si b n复合薄膜;采用X射线衍射仪和X射线光电子能谱仪分析了所制备的si b n复合薄膜的组成和结构,通过划痕试验和球 盘摩擦磨损试验考察了薄膜与基... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
用射频PCVD法沉积si-b-n复合薄膜
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机械工程材料 2002年 第4期26卷 26-29页
作者： 于俊峰 于翔 王成彪 中国地质大学工程技术学院 北京100083
使用工业射频等离子体化学气相沉积 (RF -PCVD)设备 ,通过控制合理的工艺参数 ,在不同的基体负偏压下 ,分别制备出了si b n非晶以及含有h bn、c bn显著结晶相的si b n复合薄膜。提出了这两种不同晶形薄膜的形成模型。
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
等离子化学气相沉积硅-硼-氮复合薄膜的组成和结构
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分析测试学报 2002年 第2期21卷 83-85页
作者： 于翔 于俊峰 王成彪 中国地质大学工程技术学院 北京100083
利用X射线衍射 (XRD)和X光电子能谱 (XPS)等技术对射频 -直流 -等离子化学气相沉积 (RF -DC -PVCD)在钢基体上si-b -n复合薄膜的组成和结构进行分析和研究 ;结果表明 ,通过给试样基体加一适当的直流负偏压 ,得到含有显著六方氮化硼 (h_... 详细信息
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