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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 热对流
  • 1 篇 sop参数
  • 1 篇 φ200mm
  • 1 篇 大直径热场

机构

  • 1 篇 特变电工新疆新能...

作者

  • 1 篇 昝武
  • 1 篇 阮善斌
  • 1 篇 陈洁
  • 1 篇 程小理
  • 1 篇 苏金玉

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=SOP参数"
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大直径石墨热场单晶生长工艺的研究
大直径石墨热场单晶生长工艺的研究
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创新装备技术 给力地方经济——第三届全国地方机械工程学会学术年会暨海峡两岸机械科技论坛
作者： 苏金玉 昝武 陈洁 阮善斌 程小理 特变电工新疆新能源股份有限公司
针对大直径石墨热场进行8英寸单晶硅棒生长工艺进行了研究和探讨,分析了单晶炉内热对流、温度、工艺参数对于单晶生长的影响,对一系列预设工艺参数进行了验证,最终确定出了一套稳定的sop工艺参数,适用于大直径石墨热场进行8英寸无位错... 详细信息
来源： cnki会议 评论
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