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文献类型

  • 4 篇 期刊文献

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日期分布

学科分类号

  • 4 篇 工学
    • 3 篇 机械工程
    • 1 篇 光学工程

主题

  • 4 篇 soi硅片
  • 2 篇 电容式
  • 1 篇 压电谐振器
  • 1 篇 高温
  • 1 篇 联动薄膜
  • 1 篇 压力敏感芯片
  • 1 篇 光电探测器
  • 1 篇 减反射膜
  • 1 篇 传感器
  • 1 篇 lamb波薄膜
  • 1 篇 线性响应
  • 1 篇 氮化铝
  • 1 篇 光谱响应
  • 1 篇 微量水分检测
  • 1 篇 品质因数
  • 1 篇 mems

机构

  • 1 篇 大连理工大学
  • 1 篇 中国科学院大学
  • 1 篇 中国科学院苏州生...
  • 1 篇 沈阳工业大学
  • 1 篇 厦门大学
  • 1 篇 中国科学技术大学

作者

  • 1 篇 唐玉国
  • 1 篇 张威
  • 1 篇 褚金奎
  • 1 篇 冯勇建
  • 1 篇 韩志涛
  • 1 篇 周连群
  • 1 篇 郭庆
  • 1 篇 张冰
  • 1 篇 张芷齐
  • 1 篇 张贺
  • 1 篇 李新
  • 1 篇 郭振
  • 1 篇 李传宇
  • 1 篇 孟凡涛
  • 1 篇 孔慧
  • 1 篇 揣荣岩
  • 1 篇 杨宇新

语言

  • 4 篇 中文
检索条件"主题词=SOI硅片"
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基于soi的蓝紫光探测器的设计
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半导体光电 2009年 第5期30卷 656-659页
作者： 韩志涛 褚金奎 孟凡涛 郭庆 大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室 辽宁大连116024 大连理工大学微系统与微制造辽宁省高校重点实验室 辽宁大连116024
针对仿生微纳导航传感器对380～520nm波长的探测要求,从Lambert定理出发,设计了一种蓝紫光探测器,并对器件的结构和工艺进行了优化分析。利用soi硅片上薄的单晶硅层,实现了较高的蓝紫光响应度,同时抑制了可见光中的长波和近红外光的响... 详细信息
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超薄硅衬底氮化铝Lamb波压电谐振器
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光学精密工程 2018年 第2期26卷 371-379页
作者： 李传宇 孔慧 唐玉国 张芷齐 郭振 张威 周连群 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 江苏苏州215163 中国科学院大学 北京100049 中国科学技术大学 安徽合肥230026
针对Lamb波压电声波传感器高品质因数(Q值)、低检测极限(LOD)和易集成的性能要求,本文基于soi(Siliconon-insulator)硅片,通过底层硅(Handling layer)干法刻蚀和中间层(Boxing layer)自截止的方法实现2μm超薄均一的硅衬底结构,然后沉积... 详细信息
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MEMS高温接触式电容压力传感器
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仪器仪表学报 2006年 第7期27卷 804-807页
作者： 冯勇建 厦门大学机电工程系
本文介绍了一种用soi硅片和硅?硅键合MEMS技术制作的高温接触式电容压力传感器,并给出了详细的工艺制作流程。在对测试装置、测试电路进行了详细地介绍和深入分析后,用此测试电路对制作的传感器器件进行了高温测试。测试结果表明,传感... 详细信息
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联动薄膜电容式压力敏感芯片研制
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仪表技术与传感器 2022年 第5期 1-5,50页
作者： 张冰 揣荣岩 杨宇新 张贺 李新 沈阳工业大学信息科学与工程学院 辽宁沈阳110870
文中对联动薄膜电容式压力敏感结构进行研究,结构中的上极板和下极板均感压可动,随着压力载荷的增加,上下极板绝缘接触后,通过下极板对上极板形变状态的调节作用,有效增加了线性响应范围,提高了线性度。同时,结构中采用带有残余压应力... 详细信息
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