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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 机械工程

主题

  • 1 篇 气体传感器
  • 1 篇 so2毒气检测
  • 1 篇 mems微结构

机构

  • 1 篇 东北电力大学
  • 1 篇 哈尔滨理工大学

作者

  • 1 篇 雷廷平
  • 1 篇 刘月华
  • 1 篇 赵文杰
  • 1 篇 施云波
  • 1 篇 施云芬
  • 1 篇 冯侨华

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=SO2毒气检测"
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基于MEMS叠层微结构的so2毒气传感器
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光学精密工程 2008年 第6期16卷 1075-1081页
作者： 施云芬 施云波 刘月华 冯侨华 赵文杰 雷廷平 东北电力大学化学工程学院 吉林吉林132012 哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院 黑龙江哈尔滨150080
利用多孔上电极叠层微结构，以真空镀膜技术形成气敏膜，采用MEMS微加工技术研制了气体传感器。依据等效电路和工艺边界条件，通过电导公式推导出传感器的输出电导提高了10^3倍，解决了有机半导体的信号采集问题。通过SEM微观形貌，确... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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