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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 土木工程

主题

  • 1 篇 洁净技术
  • 1 篇 smif隔离技术
  • 1 篇 洁净度
  • 1 篇 集成电路生产

机构

  • 1 篇 江苏苏净集团有限...

作者

  • 1 篇 周明孝

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=SMIF隔离技术"
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smif隔离技术的洁净微环境——洁净技术的新发展
SMIF隔离技术的洁净微环境——洁净技术的新发展
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第五届海峡两岸制冷空调技术交流会
作者： 周明孝 江苏苏净集团有限公司
smif是英语Standard Mechanical Interface的缩写.字面解释为“标准机械接口”作为洁净技术术语其实质含义为“将硅片在与操作者环境隔离的条件下运送,和在集成电路工艺设备之间转移的新技术”因为作为一种标准的方式在隔离条件下将硅... 详细信息
来源： cnki会议 评论
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