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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 化学工程与技术

主题

  • 1 篇 粗糙度
  • 1 篇 反应抛光
  • 1 篇 sg轮
  • 1 篇 cvd单晶金刚石
  • 1 篇 磨抛一体化
  • 1 篇 陶瓷砂轮

机构

  • 1 篇 苏州赛尔特新材料...
  • 1 篇 华侨大学

作者

  • 1 篇 李晨
  • 1 篇 温海浪
  • 1 篇 胡光球
  • 1 篇 陆静

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=SG轮"
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大尺寸单晶金刚石磨抛一体化加工研究
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人工晶体学报 2022年 第5期51卷 941-947页
作者： 温海浪 陆静 李晨 胡光球 华侨大学制造工程研究院 厦门361021 苏州赛尔特新材料有限公司 苏州215127
金刚石因其优异的物理性质被视为下一代半导体材料,然而其极高的硬度、脆性和耐腐蚀性导致其加工困难,尤其是对于大尺寸的化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)单晶金刚石(SCD)晶片而言,目前还缺乏一种高效、低成本的磨抛加工... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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