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  • 1 篇 工学

主题

  • 1 篇 半导体制造设备
  • 1 篇 semi s2标准
  • 1 篇 semi f47标准

机构

  • 1 篇 中电科电子装备集...
  • 1 篇 中国电子科技集团...

作者

  • 1 篇 韦薇
  • 1 篇 林煦呐
  • 1 篇 杨师
  • 1 篇 张帅
  • 1 篇 谢琼

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  • 1 篇 中文
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semi标准在半导体制造设备中的应用
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电子工业专用设备 2023年 第2期52卷 58-63页
作者： 韦薇 林煦呐 张帅 谢琼 杨师 中电科电子装备集团有限公司 北京100176 中国电子科技集团公司第四十五研究所 北京100176
semi标准是一项国际通用的半导体行业标准,为研究semi标准在半导体制造设备中的应用情况,介绍了semi S2半导体设备安全准则、semi f47半导体设备电压暂降抗扰度标准并说明了标准的实际应用。分析了semi S23半导体设备能源、电力和原料... 详细信息
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