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A comparative study of rhenium coatings prepared on graphite wafers by chemical vapor deposition and electrodeposition in molten salts

引用

Rare Metals 2021年第1期40卷 202-211页

作者： Jiang-Fan Wang Shu-Xin Bai Yi-Cong Ye Li-An Zhu Hong Zhang College of Aerospace Science and Engineering National University of Defense TechnologyChangsha 410073China

The purity,preferred orientation,microstructure,microhardness,bonding strength,thickness uniformity and thermal stability of rhenium(Re)coatings prepared on graphite wafers by chemical vapor deposition(CVD)and electrodeposition(ED)in molten salts were comparatively studied in this *** was found that carbon(0.0140 wt%)and oxygen(0.0067 wt%)were the primary impurities for CVD and ED Re coatings,*** diffusion of carbon into CVD Re coating caused higher microhardness near the substrate and helped to improve the bonding strength at the same *** preferred orientation,microstructure and microhardness of ED Re coating were all susceptible to *** coating deposition uniformity of ED Re is obviously better than that of CVD Re coating,due to its intrinsic ***(002)-oriented,coarse columnar CVD Re coating exhibited better thermal stability compared with that of the-oriented,fiber-like columnar ED Re coating,while the ED Re grains grew remarkably and the microstructure evolved toward the similar structure of CVD Re after annealing *** diversity of Re coatings in microstructure could be attributed to the mobility of grain boundaries(affected by temperature and impurity)during deposition processes.

关键词： rhenium coating Graphite wafer Chemical vapor deposition Electrodeposition Molten salt Grain boundary mobility

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