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作者

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  • 1 篇 erjia liu

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检索条件"主题词=PtRuN‐DLC film"
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Tribological properties of platinum/ruthenium/nitrogen doped diamond-like carbon thin films deposited with different negative substrate biases
收藏 引用
Friction 2014年 第4期2卷 317-329页
作者: Nay Win KHUN Erjia LIU School of Mechanical and Aerospace Engineering Nanyang Technological University50 Nanyang AvenueSingapore 639798Singapore
The platinum/ruthenium/nitrogen doped diamond‐like carbon(ptrundlc)thin films were deposited on Si substrates via DC magnetron sputtering by varying negative substrate *** tribological performance of the ptrundlc... 详细信息
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