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文献类型

  • 3 篇 期刊文献

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  • 3 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 3 篇 工学
    • 3 篇 仪器科学与技术
    • 1 篇 机械工程
    • 1 篇 光学工程
    • 1 篇 电子科学与技术(可...
    • 1 篇 控制科学与工程

主题

  • 3 篇 pt薄膜电阻
  • 1 篇 微流量传感器
  • 1 篇 微电子机械系统(m...
  • 1 篇 热式气体微流量传...
  • 1 篇 多通道温度检测及...
  • 1 篇 热膜式
  • 1 篇 高于室温环境
  • 1 篇 实时显示
  • 1 篇 限幅电路
  • 1 篇 温度补偿
  • 1 篇 流量检测系统

机构

  • 2 篇 大连理工大学
  • 1 篇 中国科学院电子学...

作者

  • 2 篇 李伟
  • 2 篇 闫卫平
  • 2 篇 李杰超
  • 1 篇 贾建
  • 1 篇 何秀丽
  • 1 篇 高晓光
  • 1 篇 侍艳华
  • 1 篇 李建平

语言

  • 3 篇 中文
检索条件"主题词=Pt薄膜电阻"
3 条 记 录,以下是1-10 订阅
高于室温环境的热式气体微流量传感器性能分析
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传感技术学报 2015年 第2期28卷 160-164页
作者: 李伟 李杰超 闫卫平 大连理工大学电子科学与技术学院 辽宁大连116024
为了探索平板微热管的传热特性,了解微热管内不同温度区间的蒸汽传输特性,开展了热式气体微流量传感器及其检测系统的设计。设计了一种便于探索最佳温度测量点的热式微流量传感器结构,利用MEMS工艺进行加工制作,在不同环境温度下对其性... 详细信息
来源: 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
MEMS热膜式微流量传感器
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微纳电子技术 2013年 第7期50卷 434-441页
作者: 侍艳华 何秀丽 高晓光 贾建 李建平 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 北京100190
针对气体红外吸收的气动探测应用,设计并制备了一种基于微电子机械系统(MEMS)技术的热膜式微流量传感器。研究了热敏电阻间距以及工作温度对传感器灵敏度的影响。当热敏电阻间距为200μm、工作温度为150℃以及气体流量在-5~5 mL/min时... 详细信息
来源: 维普期刊数据库 维普期刊数据库 博看期刊 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
多通道高稳定性温度检测系统
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仪表技术与传感器 2014年 第4期 46-49页
作者: 李伟 李杰超 闫卫平 大连理工大学电子科学与技术学院 辽宁大连116024
为了精确测试平板微热管的传热特性,利用pt100及磁控溅射法制备的pt薄膜电阻温度传感器,开发了8通道温度采集与显示系统.该系统以MSP430 F149单片机为电路控制核心,利用集成的AD和UART模块完成信号转换与通信等功能.上位机采用VC++开... 详细信息
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