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Bionic MEMS for Touching and Hearing Sensations: Recent Progress, Challenges, and Solutions

Journal of Bionic Engineering 2022年第3期19卷 590-615页

作者： Chang Ge Edmond Cretu Department of Electrical and Computer Engineering The University of British ColumbiaVancouverBCV6T 1Z4Canada

This paper reviews the recent progress on bionic microelectromechanical systems(MEMS)used for touching and hearing sensations,focusing on the following three types of devices:MEMS tactile sensors,MEMS directional microphones,and MEMS vector *** reviewing the electromechanical coupling principles,design,and performance of these MEMS devices,the authors conclude that it is vital for future research efforts in bionic MEMS to focus more on microfabrication *** development of robust microfabrication flows is the basis to implement hybrid electromechanical coupling principles based on novel functional ***-quality polymeric micromachining technologies can also significantly enhance the potential of existing bionic MEMS designs for more practical applications.

关键词： Bionic MEMS Tactile sensor Directional microphone Vector hydrophone polymeric micromachining PDMS SU-8

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