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检索条件"主题词=Plasma Coaxial Discharge for Thin Film Deposition"
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plasma coaxial discharge for thin film deposition
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中国核科技报告 1999年 第S4期 386-386页
作者： H.A.El-Gamal,H.A.El-Taeb,M.abd-Elmonim plasma Physics and Nuclear Fusion Department Nuclear Material Divsion N.R.C.Atomic Energy Authority Egypt plasma Physics and Nuclear Fusion Department Nuclear Material Divsion N.R.C.Atomic Energy Authority Egypt plasma Physics and Nuclear Fusion Department Nuclear Material Divsion N.R.C.Atomic Energy Authority Egypt
A coaxial discharge, of 6 capacitors each with 7.71 μF, is used to explore plasma thin film coating by insert a graphite powder at the breach of the coaxial head. plasma current sheath reached 25 kA, after 10 μs fro... 详细信息
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