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TiO_2 Thin Film uv detectors Deposited by DC Reactive Magnetron Sputtering

Semiconductor Photonics and Technology 2004年第4期10卷 245-247页

作者： ZHANGLi-wei YAONing ZHANGBing-lin FANZhi-qin YANGShi-e LUZhan-ling KeyLab.ofMater.Phys. Dept.ofPhys.ZhengzhouUniversityZhengzhou450052CHN

Crystalline TiO2 thin films were prepared by DC reactive magnetron sputtering on indium-tin oxide（ITO） thin film deposited on quartz substrate, the photoconductive uv detector on TiO2 thin films was based on a sandwich structure of C/ TiO2/ITO. The measurement of the I-V characteristics for these devices shows good ohmic contact. The photoresponse of TiO2 thin films was analyzed at different bias voltage. The detector shows a good photoresponse with a rise time of 2 s and a fall time of 40 s, the photocurrent is linearly increased with the bias voltage.

关键词： TiO_(2) thin films Sputtering photoconductive uv detector Photoresponse

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