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Multi-scale Calibration Board Based Accurate Calibration of a Scanning Electron Microscope

Multi-scale Calibration Board Based Accurate Calibration of ...

作者： Yiran Hua Xianmin Zhang Hai Li Zhuobo Yang Guangdong Province Key Laboratory of Precision Equipment and Manufacturing Technology South China University of Technology

We present a new calibration method based on multi-scale calibration board for scanning electronic microscopy（SEM） at low *** implementation of the calibration mainly depends on automatic center-point features detection from the calibration board image instead of corner *** center-point feature is the centroid of each squares,which is obtained via morphological *** use the calibration model consisting of projective model and static distortion *** is proved the point detection proposed in this paper is more accurate,efficient and robust,compared with corner point detection in the traditional calibration ***,reprojection error is used to evaluate the accuracy of the calibration *** last,the method is efficient and reliable with accuracy,which is testified by experiment.

关键词： Calibration Scanning electronic microscopy Center-point extraction perspective model

来源： cnki会议评论

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