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preparation of diamond films by dc plasma cvd
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Journal of Energy Chemistry 1992年 第3期 261-269页
作者： QI Shan JIN Zeng-Sun LU Xian-Yi ZOU Guang-Tian State Key Laboratory for Superhard Materials Institute of Atomic and Molecular Physies,Jilin University Changchun,Jilin 130023 Rece(?)ed December 27,1991
In the present paper,diamond thin films have been formed on Sisubstrate by dc plasma chemical vapor deposition from mixture gases ofmethane and *** effect of deposition conditions on the formationand quality of diamon... 详细信息
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