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Design of a long range nano-scale resolution mechanism

Journal of Zhejiang University-Science A(Applied Physics & Engineering) 2010年第4期11卷 250-254页

作者： Shuo Hung CHANG Jen Bon LEE Department of Mechanical Engineering National Taiwan University

This paper presents the development of a coarse-fine dual precision positioning stage to achieve long travel range and high *** fine stage is arranged in series with a coarse *** key in the fine stage design is the choice of a toggle mechanism for a tight mechanical loop with high stiffness and *** designed the toggle mechanism for reduction of the displacement to suppress signal *** performance of the coarse and fine stages was verified with an optical encoder and capacitive sensor,*** measurement results show that the dual mechanism has a travel range of 1 mm and resolution of 30 nm.

关键词： Coarse-fine dual stage nano-scale resolution Piezoelectric (PZT) actuator

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