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LOW FLYING HEIGHT MEASUREMENT WITH multi-wavelength interferometry
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Chinese Journal of Mechanical Engineering 2008年 第3期21卷 108-111页
作者： WANG Wei LAI Wuxing SHI Tielin TAO Wei CHENG Xinjian School of Mechanical Science and Engineering Huazhong University of Science and Technology Wuhan 430074. China Tnbology ＆ Mechanical Characterization Division SAE Magnetics （H.K.） Ltd. Dongguan 523087 China
A method for measurement of ultra-low flying height in head-disk spacing is described. Three different wavelengths are selected out from white light by filters to measure the spacing simultaneously. Besides solving th... 详细信息
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