检索结果-南通市图书馆

检索条件"主题词=Mix Product Process"

共 1 条记录，以下是1-10 订阅

全选清除本页清除全部题录导出标记到"检索档案"

详细简洁

排序：

Run to Run Control Based on Adaptive Cluster Method for High-mix Semiconductor Manufacturing processes

Run to Run Control Based on Adaptive Cluster Method for High...

引用

第二十九届中国控制会议

作者： David Shan-Hill WONG Shi-Shang JANG Department of Chemical Engineering National Tsing-Hua University

In the semiconductor manufacturing process,products with different recipe will be produced on the same tool or products with same recipe will be produced on different tools due to the capacity of ***,it is difficult to control a mixed run production process containing low production frequency products with high *** proposed a control scheme which combines adaptive k-means cluster method and run-to-run control to improve the performance of low frequency products in the mixed run *** products could be classified into the same group adaptively and be controlled by a EWMA *** cluster controller is updated by large and small frequency products,so the low frequency products can be improved by the information from similar large frequency *** proposed control scheme is also evaluated by an industrial application.

关键词： Run-to-Run Control EWMA mix product process k-means Cluster

来源： cnki会议评论

在线全文

cnki会议

学校读者我要写书评

暂无评论

全选清除本页清除全部题录导出标记到“检索档案”

共1页 << < 1 > >>

回到顶部

执行限定条件

欢迎您,

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

欢迎您,

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：