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In-channel integration of designable microoptical devices using flat scaffold-supported femtosecond-laser microfabrication for coupling-free optofluidic cell counting

引用

Light(Science & Applications) 2015年第1期4卷 569-576页

作者： Dong Wu Jian Xu Li-Gang Niu Si-Zhu Wu Katsumi Midorikawa Koji Sugioka Laser Technology Laboratory RIKENSaitama 351-0198Japan State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics College of Electronic Science and EngineeringJilin UniversityChangchun 130012China

The high-precision integration of three-dimensional(3D)microoptical components into microfluidics in a customizable manner is crucial for optical sensing,fluorescence analysis,and cell detection in optofluidic applications;however,it remains challenging for current microfabrication technologies.This paper reports the in-channel integration of flexible two-dimensional(2D)and 3D polymer microoptical devices into glass microfluidics by developing a novel technique:flat scaffold-supported hybrid femtosecond laser microfabrication(FSS-HFLM).The scaffold with an optimal thickness of 1–5 μm is fabricated on the lower internal surface of a microfluidic channel to improve the integration of high-precision microoptical devices on the scaffold by eliminating any undulated internal channel surface caused by wet etching.As a proof of demonstration,two types of typical microoptical devices,namely,2D Fresnel zone plates(FZPs)and 3D refractive microlens arrays(MLAs),are integrated.These devices exhibit multicolor focal spots,elongated(>three times)focal length and imaging of the characters‘RIKEN’in a liquid channel.The resulting optofluidic chips are further used for coupling-free white-light cell counting with a success rate as high as 93%.An optofluidic system with two MLAs and a W-filter is also designed and fabricated for more advanced cell filtering/counting applications.

关键词： cell counting 3D optofluidic chips hybrid femtosecond laser microfabrication microlens arrays two-photon polymerization

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Fabrication of Refractive microlens Array with no Dead Area

引用

Chinese Journal of Lasers 1998年第2期 51-56页

作者： CHEN Bo GUO Lurong TANG JiyueZHEN Hongjun PANG Ling TIAN Weijian(Information Optics Research Center, Sichuan University, Chengdu 610064,China)

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关键词： microlens arrays parabolic profile movingmask dead area.

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