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中国光学（中英文） 2024年第1期17卷 89-99页

作者：李香兰金霞吕金光郑凯丰陈宇鹏赵百轩赵莹泽秦余欣王惟彪梁静秋中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130033 中国科学院大学北京100049 中国电子科技集团公司第四十六研究所天津300220

本文提出了一种基于micro led阵列的车灯投影方案,设计了以像素尺寸为80μm×80μm的200×150白光micro led阵列作为显示光源,视场角为16°×34°的车灯投影光学系统,并对物面倾斜角度和光学系统结构进行了优化。此外,分别采用反向畸变... 详细信息

本文提出了一种基于micro led阵列的车灯投影方案,设计了以像素尺寸为80μm×80μm的200×150白光micro led阵列作为显示光源,视场角为16°×34°的车灯投影光学系统,并对物面倾斜角度和光学系统结构进行了优化。此外,分别采用反向畸变处理方法和像素灰度调制方法用以解决车灯投影图像的梯形畸变和照度均匀性问题,并搭建了投影实验平台,对图像校正方法进行了验证。实验结果表明:校正后图像梯形畸变系数p1,p2分别从0.0932和0.3680下降至0.0835和0.0373,像面照度均匀性从83.2%提高到93.2%。本文通过对基于micro led的倾斜投影车灯光学系统进行优化设计及采用图像校正方法,实现了高光效、低畸变的车灯投影。

关键词：车灯投影光学系统光学设计 micro led 照度均匀性梯形畸变

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光子晶体micro led微显示阵列加工及光学特性分析

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半导体技术 2024年第8期49卷 719-725页

作者：孟媛肖秧冯晓雨何龙振张鹏喆宁平凡刘宏伟天津工业大学电子与信息工程学院天津300387 天津工业大学天津市光电检测技术与系统重点实验室天津300387

micro led器件具有高亮度、低功耗和高可靠性等优点,但micro led显示像素巨量转移和光提取效率低的问题为其应用带来挑战。开发了具有高转移效率和出光效率的单片64×64 micro led微显示阵列,提出了倒装型GaN基单片micro led微显示阵列... 详细信息

micro led器件具有高亮度、低功耗和高可靠性等优点,但micro led显示像素巨量转移和光提取效率低的问题为其应用带来挑战。开发了具有高转移效率和出光效率的单片64×64 micro led微显示阵列,提出了倒装型GaN基单片micro led微显示阵列芯片和Si基驱动电路的设计方法及集成工艺。通过时域有限差分(FDTD)方法对micro led微显示阵列光学特性进行了建模分析,设计了一种提高micro led微显示阵列出光效率的光提取结构。结合仿真结果,开发了一种在micro led蓝宝石衬底表面制备光子晶体结构的聚焦离子束(FIB)微纳加工工艺,并进行了器件加工。测试结果表明,蓝宝石衬底上加工的光子晶体结构可以提高micro led器件的表面出光效率,光功率平均值提升了16.36%,对micro led微显示阵列加工及微显示像素光提取问题具有借鉴意义。

关键词： micro led 微显示阵列光子晶体结构聚焦离子束(FIB) 出光效率

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micro led基板Ti阻挡层化学机械平坦化研究

Micro LED基板Ti阻挡层化学机械平坦化研究

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作者：谢顺帆河北工业大学

学位级别：硕士

作为元宇宙入口的增强现实/虚拟现实(AR/VR)近眼显示设备。微显示器(micro led)有着高对比度、低功耗及长寿命等优越的性能,但因其制造过程对晶圆表面平坦化的要求非常高,所以目前的产业化程度仍较低。micro led芯片基板的化学机械平坦... 详细信息

作为元宇宙入口的增强现实/虚拟现实(AR/VR)近眼显示设备。微显示器(micro led)有着高对比度、低功耗及长寿命等优越的性能,但因其制造过程对晶圆表面平坦化的要求非常高,所以目前的产业化程度仍较低。micro led芯片基板的化学机械平坦化(CMP)是其技术推进、产业化程度提升的重要限制环节。因此,深入展开以钛(Ti)作为阻挡层的micro led基板CMP及其机理研究,对推进其技术发展具有重要意义。micro led基板CMP后晶圆键合的效果取决于晶圆表面的平坦化,而碟形坑(dishing)大小严重影响键合效果。因此,亟需开展micro led铜膜CMP后的低碟形坑与阻挡层CMP后的碟形坑强修正能力的研究。针对上述关键技术问题,本文研究成果如下。(1)系统研究了micro led芯片基板铜膜的化学机械抛光。通过优化抛光液组分及CMP工艺,发现铜膜的CMP去除机理是以氧化和络合的化学作用占据主导地位,尤其是甘氨酸结构中的羧基(-COOH)和氨基(-NH)形成的螯合结构可以快速络合Cu,而磨料浓度等机械作用并不是影响其去除速率的关键因素。(2)创新性地将绿色环保型缓蚀剂烟酸(NA,Nicotinic acid)用于铜膜的化学机械抛光中,发现其对低碟形坑的控制起到关键作用。电化学实验以及接触角分析发现,烟酸可以有效地保护低凹处的铜,有效控制CMP过抛过程中的铜损失,进而降低碟形坑深度。同时机理分析发现,烟酸分子结构中的吡啶环结构在酸性条件下可以快速吸附在钛的表面,形成的配合物有效降低Cu/Ti之间的腐蚀电位差,并使得铜膜精抛光时产生的碟形坑得到有效控制。(3)发现Ti阻挡层CMP过程中,新型缓蚀剂TT-LYK对铜的缓蚀以及对钛的微络合,可有效抑制Cu/Ti之间的电偶腐蚀。(4)系统研究了Ti阻挡层CMP过程中抛光液各组分,尤其是缓蚀剂对Cu/Ti/TEOS三种材料的去除速率及去除速率选择比的影响。镀膜片及图形片的CMP测试结果均表明,在此抛光液体系中Cu/Ti电偶腐蚀得到有效抑制,同时得到了较好的速率选择比(Cu/Ti/TEOS速率选择比为1:1.9:1.7),碟形坑也得到了很好的控制(碟形坑最大为20 nm)。

关键词： micro led 钛阻挡层化学机械抛光碟形坑烟酸

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华灿光电将迎“面板之王”京东方入主拟募资逾20亿发力micro led晶圆制造

华灿光电将迎“面板之王”京东方入主拟募资逾20亿发力Micro LE...

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证券时报

作者：李映泉

华灿光电(300323)因筹划涉及控制权更变的重大事项而停牌一周后，如今谜底揭晓，公司将迎来“面板之王”京东方A(000725)的入主。11月6日晚间，华灿光电披露定增预案，拟向京东方定向发行3.72亿股股份，同时华灿光电股东New Sure Limite... 详细信息

华灿光电(300323)因筹划涉及控制权更变的重大事项而停牌一周后，如今谜底揭晓，公司将迎来“面板之王”京东方A(000725)的入主。11月6日晚间，华灿光电披露定增预案，拟向京东方定向发行3.72亿股股份，同时华灿光电股东New Sure Limited拟将所持全部股份的表决权委托给京东......

关键词：京东方晶圆制造 micro led

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基于神经网络的Mini/micro led自动光学检测算法研究

基于神经网络的Mini/Micro LED自动光学检测算法研究

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作者：张呈恺西安电子科技大学

学位级别：硕士

led(Light-Emitting Diode)是一种性能优异的发光半导体器件,缩小化的Mini led与micro led可以用于高分辨率小型化的显示面板,相比传统的LCD与Oled显示技术,基于Mini/micro led的显示面板功耗低,像素响应速度快,使用寿命长,是未来消费... 详细信息

led(Light-Emitting Diode)是一种性能优异的发光半导体器件,缩小化的Mini led与micro led可以用于高分辨率小型化的显示面板,相比传统的LCD与Oled显示技术,基于Mini/micro led的显示面板功耗低,像素响应速度快,使用寿命长,是未来消费电子领域显示技术的热门候选。自动光学检测是led生产制造中必不可少的工艺环节,传统自动光学检测算法对Mini/micro led检测的准确率差,计算效率低,难以并行加速,严重制约了Mini/micro led的产能。本文使用基于神经网络的目标检测模型实现Mini/micro led检测并对模型进行改进优化,提高Mini/micro led自动光学检测算法的准确率和计算效率。本文主要工作内容如下:1、结合Mini/micro led自动光学检测的应用场景和卷积神经网络算法的工作机制,提出使用基于卷积神经网络的目标检测模型实现Mini/micro led自动光学检测的方案。该方案使用的目标检测模型由三个不同的部分组成,分别为特征提取网络、特征融合网络和分类回归网络。特征提取网络是提取led晶片的特征信息的主干部分,特征融合网络会将不同维度和大小的特征信息进行融合,分类回归网络最后使用这些特征信息进行led晶片进行分类和定位。本文使用生产线上获得的7种类型不同、尺寸大小不同的led图像对该模型进行训练,实现前后处理算法,完成自动光学检测功能。最后对该算法进行实验分析,验证了基于卷积神经网络的自动光学检测算法比传统自动光学检测算法拥有更高准确率和计算效率。2、根据基于卷积神经网络的自动光学检测算法实验分析得出的问题,本文设计了对目标检测模型的改进方案。在模型结构上,本文引入自注意力机制,在特征融合网络中使用Transformer结构部分替代原有的卷积结构提高模型对小尺寸、高密度目标的检测能力;在训练上,本文使用基于Wasserstein距离的度量方法计算目标预测框位置损失,提高模型对小目标检测的训练效果;针对Mini/micro led图像的特点,裁剪了对led检测不必要的网络结构,减少后处理的数据量,提高算法的计算效率。使用相同方法对改进后的模型进行训练,完成自动光学检测功能。经过实验分析,验证了改进后的模型提高了自动光学检测算法对小尺寸、高密度led检测的准确率,进一步降低了算法的计算耗时。

关键词： Mini led micro led 神经网络自动光学检测

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基于micro led的车灯投影光学系统研究

基于Micro LED的车灯投影光学系统研究

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作者：李香兰中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所)

学位级别：硕士

为满足人们在行驶安全和舒适驾驶方面日益增长的需求,汽车产品逐渐向着“自动化、智能化、安全化”方向发展。作为汽车关键部件之一,车灯也逐渐从单一照明的传统模式向着更智能、更安全、更便捷的现代化方向发展,使之在满足精准照明的... 详细信息

为满足人们在行驶安全和舒适驾驶方面日益增长的需求,汽车产品逐渐向着“自动化、智能化、安全化”方向发展。作为汽车关键部件之一,车灯也逐渐从单一照明的传统模式向着更智能、更安全、更便捷的现代化方向发展,使之在满足精准照明的同时实现信息显示的功能。近年来,作为提高汽车驾驶舒适性和道路安全性的一种手段,汽车照明技术发展迅速。随着自动驾驶、汽车互联等技术的兴起,汽车产品的“信息化、智能化、安全化”发展对车灯提出了更高的要求,车灯投影成为下一代车灯的发展方向,在智能汽车的车-车、车-人交互中发挥重要的作用。led由于具有亮度高、寿命长、功耗低、抗震好、响应快等优势,被广泛应用于汽车领域,成为智能化车灯的首选光源。与led相比,micro led体积更小、分辨率更高,因此其在汽车投影显示领域具有更大的应用潜力。本文基于micro led的优异特性,设计了一种以白光micro led阵列为显示光源的车灯投影光学系统。根据实际应用需求,对光学结构、光学元件参数及光学性能进行了设计和优化,并针对车灯投影时产生的梯形畸变及照度均匀性问题进行了分析,提出了校正方法。本论文主要的研究内容如下:(1)提出了由显示光源和投影物镜组成的车灯投影光学系统设计方案。通过在蓝光micro led阵列上涂覆黄色量子点进行色转换实现白光显示,采用图像处理算法对micro led阵列芯片的显示图像进行校正以减小畸变并改善照度均匀性,最后通过投影物镜在地面相应区域实现投影图像显示。根据车灯性能需求,完成了micro led像素数目、像素尺寸、发光面积,以及投影物镜视场角、焦距、相对孔径的参数设计。(2)根据micro led及投影物镜设计参数,完成了车灯投影光学系统的设计和优化。采用物面倾斜与光学结构优化相结合的设计方法,解决了车灯投影光学系统设计中因光轴倾斜导致的成像质量严重下降的问题,使车灯投影光学系统在Nyquist频率处调制传递函数优于0.6;根据工作环境的温度范围,分析了车灯投影光学系统在-20℃～80℃范围内的成像质量,分析结果表明,系统在宽温度范围内仍具有良好的光学性能;通过蒙特卡罗方法对车灯投影系统进行了公差分析,给出了系统的加工装调误差容限。(3)进行了车灯投影光学系统的图像畸变及照度均匀性的分析与校正。分析了车灯投影时产生梯形畸变及照度不均匀性的原因;提出了反向畸变处理方法,对投影图像进行畸变校正;采用像素灰度调制方法,提升投影像面的照度均匀性。搭建了投影实验平台,进行成像实验,试验结果表明:校正后图像梯形畸变系数大小分别从0.2896、0.0718下降至0.0045、0.0117,校正前后的像面照度均匀性分别为77.6%和93.3%,像面畸变和照度均匀性得到了明显改善,满足车灯投影系统的应用需求。

关键词：车灯投影光学系统光学设计 micro led 照度均匀性梯形畸变

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micro led巨量转移技术的中国专利分析

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科技视界 2022年第24期 28-30页

作者：程凯芳刘婧国家知识产权局专利局专利审查协作北京中心北京100160

micro led在产业化进程中面临的一个核心技术难题是micro led的巨量转移技术。文章从国内申请量年代分布和国内主要申请人方面对micro led巨量转移技术的专利申请进行统计分析,以及介绍几例micro led巨量转移技术的典型专利申请,为该领... 详细信息

micro led在产业化进程中面临的一个核心技术难题是micro led的巨量转移技术。文章从国内申请量年代分布和国内主要申请人方面对micro led巨量转移技术的专利申请进行统计分析,以及介绍几例micro led巨量转移技术的典型专利申请,为该领域的技术创新发展提供数据支持。目前micro led巨量转移技术仍处于快速发展时期,国内显示面板龙头企业都在竞相投入研究开发,并且国内高校也针对micro led巨量转移技术开展了较多的研究,micro led巨量转移技术发展趋势强劲。

关键词： micro led 巨量转移专利申请量专利申请人

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micro led巨量转移技术专利分析

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通讯世界 2022年第3期29卷 67-69页

作者：戴永超国家知识产权局专利局北京100088

微型发光二极管(micro led)由于具有高亮度、低功耗的优势,在业界被普遍预测为最有可能替代TFTˉLCD和有机发光半导体(organic electroluminescence display,Oled)的下一代显示技术。本文基于专利数据统计分析,探究micro led巨量转移技... 详细信息

微型发光二极管(micro led)由于具有高亮度、低功耗的优势,在业界被普遍预测为最有可能替代TFTˉLCD和有机发光半导体(organic electroluminescence display,Oled)的下一代显示技术。本文基于专利数据统计分析,探究micro led巨量转移技术的专利申请趋势、申请人分布,以及不同技术分支下的专利技术相关情报。

关键词： micro led 巨量转移专利分析

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micro led谁主沉浮？ 001

Micro LED谁主沉浮？

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中国电子报

作者：卢梦琪

消费者对于显示画质和形态的需求是LCD替代CRT、Oled崛起的核心驱动力。下一代显示技术micro led之所以充满想象空间，亦源于此。2012年索尼展出55英寸micro led电视样品，让micro led作为商业化产品第一次出现在大众视野。micro led近... 详细信息

消费者对于显示画质和形态的需求是LCD替代CRT、Oled崛起的核心驱动力。下一代显示技术micro led之所以充满想象空间，亦源于此。2012年索尼展出55英寸micro led电视样品，让micro led作为商业化产品第一次出现在大众视野。micro led近年来进入高速发展阶段，特别是大尺寸商?

关键词： micro led 智能眼镜显示技术谁主沉浮

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利亚德董事长李军：micro led销售有望高速增长多环节推动扩产降价 A05

利亚德董事长李军：Micro LED销售有望高速增长多环节推动扩产...

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第一财经日报

兔年春晚及元宵晚会的视效显示、《三体》里的专业动捕技术、卡塔尔世界杯的1500平方米led显示屏……为这些大型晚会及体育赛事等提供显示产品、技术支持“保驾护航”的，是深耕显示行业28年的龙头企业利亚德（***）。走过上市十年，... 详细信息

兔年春晚及元宵晚会的视效显示、《三体》里的专业动捕技术、卡塔尔世界杯的1500平方米led显示屏……为这些大型晚会及体育赛事等提供显示产品、技术支持“保驾护航”的，是深耕显示行业28年的龙头企业利亚德（***）。走过上市十年，利亚德Mini/micro led新技术成为led显

关键词： micro led 高速增长智能显示董事长

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