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  • 1 篇 pdp)
  • 1 篇 磁控溅射
  • 1 篇 mg-zr-o
  • 1 篇 微观结构
  • 1 篇 放电性能
  • 1 篇 交流等离子显示板...

机构

  • 1 篇 西安交通大学

作者

  • 1 篇 王剑锋
  • 1 篇 徐可为
  • 1 篇 马大衍
  • 1 篇 刘纯亮
  • 1 篇 宋忠孝
  • 1 篇 吴汇焱

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=Mg-Zr-O"
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zr含量对磁控溅射mg-zr-o薄膜微观结构和放电性能的影响
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稀有金属材料与工程 2011年 第2期40卷 339-342页
作者： 王剑锋 吴汇焱 宋忠孝 马大衍 徐可为 刘纯亮 西安交通大学 陕西西安710049
采用磁控溅射在玻璃基底上沉积mg-zr-o复合介质保护膜,研究zr掺杂含量对薄膜微观结构和放电性能(着火电压,最小维持电压)的影响。结果发现,沉积的mg-zr-o薄膜晶粒细小,微观结构仍然保持mgo的面心立方NaCl型结构,所掺杂的zr以zr4+形式置... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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