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化学刻蚀的光学元件面形修复

光学精密工程 2007年第7期15卷 997-1001页

作者：项震侯晶聂传继许乔张清华王健李瑞洁浙江大学现代光学仪器国家重点实验室浙江杭州310027 成都精密光学工程研究中心四川成都610041

采用化学加工方法对光学元器件进行面形加工,可以避免传统的抛光工艺带来的亚表面缺陷和表面污染。实验中利用marangoni界面效应有效控制化学液的驻留时间和驻留面积,并通过数控系统实现编程控制加工,进行了面形修复实验,利用轮廓仪测... 详细信息

采用化学加工方法对光学元器件进行面形加工,可以避免传统的抛光工艺带来的亚表面缺陷和表面污染。实验中利用marangoni界面效应有效控制化学液的驻留时间和驻留面积,并通过数控系统实现编程控制加工,进行了面形修复实验,利用轮廓仪测量了加工前后的表面粗糙度。结果表明,采用拼接小去除量多次加工的方法,有效地降低了面形误差,面形值由1.32λ(λ=632 nm)减少到0.66λ,粗糙度基本维持不变。利用此实验装置使基片面形得到修复,避免了传统加工方式带来的亚表面缺陷等问题,有利于强激光系统的使用。

关键词：光学元器件化学刻蚀面形修复 marangoni界面效应粗糙度

基于marangoni效应的光学元件化学抛光工艺研究

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光电子．激光 2007年第10期18卷 1158-1161页

作者：项震聂传继侯晶浙江大学现代光学仪器国家重点实验室浙江杭州310027

介绍了marangoni界面效应及化学抛光反应机理,进行了数控抛光刻蚀实验研究,包括刻蚀稳定性实验、刻蚀量与刻蚀头速率的关系以及初步的面形修复加工。通过对实验结果进行分析,得到稳定可控刻蚀抛光的上限刻蚀速率和刻蚀效率与刻蚀头走速... 详细信息

介绍了marangoni界面效应及化学抛光反应机理,进行了数控抛光刻蚀实验研究,包括刻蚀稳定性实验、刻蚀量与刻蚀头速率的关系以及初步的面形修复加工。通过对实验结果进行分析,得到稳定可控刻蚀抛光的上限刻蚀速率和刻蚀效率与刻蚀头走速的函数关系。

关键词： marangoni界面效应化学抛光刻蚀刻蚀函数

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光学元件亚表面缺陷结构的蚀刻消除

强激光与粒子束 2007年第3期19卷 373-376页

作者：项震聂传继葛剑虹侯晶许乔浙江大学现代光学仪器国家重点实验室杭州310027 成都精密光学工程研究中心成都610041

针对强激光光学元件的应用要求,对光学材料在研磨和抛光过程中形成的亚表面缺陷进行了分析,并借鉴小工具数控抛光和marangoni界面效应,提出采用数控化学刻蚀技术来实现光学表面面形和微结构形貌的高精度加工,对亚表面缺陷具有很好的克... 详细信息

针对强激光光学元件的应用要求,对光学材料在研磨和抛光过程中形成的亚表面缺陷进行了分析,并借鉴小工具数控抛光和marangoni界面效应,提出采用数控化学刻蚀技术来实现光学表面面形和微结构形貌的高精度加工,对亚表面缺陷具有很好的克服和消除作用。通过实验对亚表面缺陷的分布位置和特性进行了分析,同时实验验证了在静止和移动条件下marangoni界面效应的存在,对材料的定量去除进行了实验,提出了亚表面缺陷的去除方法。

关键词：化学刻蚀 marangoni界面效应亚表面缺陷抛光

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减少光学元件亚表面缺陷的方法研究

光子学报 2009年第5期38卷 1226-1230页

作者：项震赵亚洲侯晶葛剑虹浙江大学现代光学仪器国家重点实验室杭州310027

针对强激光光学元件的应用要求,对光学材料在研磨和抛光过程中形成的亚表面缺陷进行了分析,并借鉴小工具数控抛光和marangoni界面效应,提出采用数控化学刻蚀技术来实现光学表面面形和微结构形貌的高准确度加工.通过实验对亚表面缺陷的... 详细信息

针对强激光光学元件的应用要求,对光学材料在研磨和抛光过程中形成的亚表面缺陷进行了分析,并借鉴小工具数控抛光和marangoni界面效应,提出采用数控化学刻蚀技术来实现光学表面面形和微结构形貌的高准确度加工.通过实验对亚表面缺陷的分布位置和特性进行了分析,实验验证了在静止和移动条件下marangoni界面效应的存在.对材料的定量去除进行了实验,提出了亚表面缺陷的去除方法.

关键词：化学刻蚀 marangoni界面效应亚表面缺陷抛光

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光学元件面形修复的化学加工方法研究

光学元件面形修复的化学加工方法研究