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    • 1 篇 生物工程

主题

  • 2 篇 mems电感
  • 1 篇 rf能量衰减
  • 1 篇 铜
  • 1 篇 无电镀
  • 1 篇 镍
  • 1 篇 单晶硅
  • 1 篇 无线能量传输
  • 1 篇 品质因数
  • 1 篇 电感耦合
  • 1 篇 hbss

机构

  • 2 篇 北京大学

作者

  • 1 篇 郝一龙
  • 1 篇 李旦
  • 1 篇 韩翔
  • 1 篇 闫桂珍
  • 1 篇 李轶
  • 1 篇 吴文刚

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=MEMS电感"
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用于mems的单晶硅上无电镀铜、镀镍工艺
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Journal of Semiconductors 2005年 第5期26卷 1059-1064页
作者： 韩翔 李轶 吴文刚 闫桂珍 郝一龙 北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室 北京100871
开发了单晶硅上的选择性无电镀铜、镀镍工艺,形成了较为优化的施镀流程,实现了保形性、均镀性较好的铜、镍及其复合镀层.其中针对单晶硅表面的特点,采取了浓酸处理和氧等离子轰击两种表面预处理方法,优化了氯化钯对表面的激活时间,使得... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
面向无线能量传输的射频信号在生物体内传播规律的实验研究
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引用
作者： 李旦 北京大学
学位级别：硕士
植入式器件和系统在生物医学上的应用越来越广泛,然而能量问题一直是植入式器件的一个技术难题。无线能量传输技术为解决植入式器件的寿命问题提供了新的技术途径,无线能量传输中普遍采用电感耦合方式。提高电感线圈之间的耦合效率、掌... 详细信息
来源： 同方学位论文库 同方学位论文库 评论
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