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主题

  • 1 篇 角速率传感器
  • 1 篇 电磁
  • 1 篇 mems制作
  • 1 篇 电容检测

机构

  • 1 篇 日本东北大学

作者

  • 1 篇 ono takahito
  • 1 篇 ikeue naokatsu
  • 1 篇 tanaka shuji
  • 1 篇 罗彪
  • 1 篇 esashi masayoshi
  • 1 篇 吴英

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=MEMS制作"
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基于电磁驱动及磁电/电容检测的硅谐振式双轴角速率传感器设计和测试(英文)
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引用
纳米技术与精密工程 2013年 第5期11卷 430-435页
作者： 罗彪 Esashi Masayoshi Ikeue Naokatsu Tanaka Shuji Ono Takahito 吴英 日本东北大学工学部
本文介绍了一种mems角速率传感器的设计、制作和测试.该传感器采用硅梁作为支撑和震动的结构.电磁力在驱动模式中被用来激励质量块做往复运动.驱动模式的频率被设计为5 955.38 Hz.针对另外两个轴向的角速率检测,设计检测模式的频率分别... 详细信息
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