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A Proposal of a Spline Filter that Achieves Both Robustness and lower compatibility

Nanomanufacturing and Metrology 2021年第2期4卷 77-85页

作者： Yuki Kondo Munetoshi Numada Keiya Takahashi Ichiro Yoshida Hiroyasu Koshimizu HOSEI University 3-7-2 Kajino-choKoganei-shiTokyo184-8584Japan Chukyo University 101-2 Yagotohonmati Showa-kuNagoyaAichi466-8666Japan YYC Solution 3-102-3F Kamiyashiro Meito-kuNagoyaAichi465-0025Japan

A spline filter is used to extract roughness profiles for the measurement of surface texture and is useful when sufficient sections before and after a primary profile could not be *** is because a spline filter could prevent the end effect,which is the fluctuation of output data that occurs around both ends of the primary profile and depends on the width of the weighting function of a *** spline filter is based on the calculation of an inverse matrix instead of the convolution of the weighting function of the *** input data include outliers,the output of a spline filter greatly *** solve this problem,we propose a robust spline ***,output of the robust spline is not in agreement with that of the spline filter when input data do not include ***,the robust spline filter has no lower *** this paper,the"Fast M-estimation Spline Filter(FMSF)"is *** uses the fast M-estimation *** performs robust to input data including outliers,and gives the same output as that of general spline filters to input data without *** value estimated by this method is in agreement with that estimated by the least squares method if no outlier *** order to apply the fast M-estimation method to the spline filter,convolution of weight function is used instead of the inverse *** the input geometry with shear and point-symmetric extensions is pre-processed to prevent the end effect.

关键词： Surface roughness Spline filter Robustness lower compatibility End effect M-estimation method

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