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检索条件"主题词=Lithography Simulation, PROLITH, semiconductor manufacturing"
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lithography simulation in semiconductor manufacturing
Lithography Simulation in Semiconductor Manufacturing
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Photonics Asia 2004;Optoelectronics,Microelectronics,and Nanotech
作者： Chris A. Mack KLA-Tencor FINLE Division 8834 N. Capital of Texas Highway Suite 301 Austin TX 78759 USA
In the 30 years since lithography modeling was first introduced, optical lithography simulation has progressed from a curiosity, to a research and development tool, and finally to a manufacturing tool
来源： cnki会议 评论
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