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主题

  • 1 篇 lc-14型强流氧注入...
  • 1 篇 注入均匀性
  • 1 篇 背散射分析
  • 1 篇 soi材料

机构

  • 1 篇 信息产业部电子第...
  • 1 篇 北京师范大学

作者

  • 1 篇 李雪春
  • 1 篇 卢志恒
  • 1 篇 唐景庭
  • 1 篇 罗晏

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=LC-14型强流氧注入机"
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lc-14型强流氧注入机注入均匀性的背散射分析报告
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引用
北京师范大学学报（自然科学版） 2002年 第2期38卷 204-207页
作者： 罗晏 唐景庭 李雪春 卢志恒 北京师范大学低能核物理研究所 信息产业部电子第四十八研究所 长沙410111 北京师范大学物理学系
报道了应用双指数函数对大注量氧注入硅的背散射谱进行拟合 ,成功地分离出注入的氧峰 .数据处理结果表明 ,氧注量的均匀性以标准偏差表示为 7.8% ,基本上达到了设计要求 .计算了注氧层和表面硅层的厚度 ,并且还对注量进行了校正 .
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