咨询与建议

限定检索结果

文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 仪器科学与技术
    • 1 篇 材料科学与工程(可...
    • 1 篇 电子科学与技术(可...
    • 1 篇 公安技术

主题

  • 1 篇 多工况
  • 1 篇 k近邻比率密度
  • 1 篇 故障诊断
  • 1 篇 局部保持嵌入
  • 1 篇 半导体蚀刻过程

机构

  • 1 篇 沈阳化工大学

作者

  • 1 篇 李元
  • 1 篇 冯立伟
  • 1 篇 张成
  • 1 篇 郑百顺
  • 1 篇 郭青秀

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=K近邻比率密度"
1 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
基于局部保持嵌入-k近邻比率密度的半导体蚀刻过程故障诊断策略
收藏 引用
控制理论与应用 2020年 第6期37卷 1342-1348页
作者: 张成 郑百顺 郭青秀 冯立伟 李元 沈阳化工大学技术过程故障诊断与安全性研究中心 辽宁沈阳110142
针对多模态间歇过程存在数据维度高且方差差异较大的特征,提出一种基于局部保持嵌入–k近邻比率密度(NPE–kRD)规则的故障检测方法.首先,利用局部保持嵌入(NPE)方法将原始的高维数据投影到低维空间;其次,在低维空间通过计算样本的密度... 详细信息
来源: 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论