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Three-Dimensional Simulations with Fields and Particles in Software and inflector Designs

Journal of Software Engineering and Applications 2013年第8期6卷 390-395页

作者： Branislav Radjenovic Marija Radmilovic-Radjenovic Petar Belicev Institute of Physics University of BelgradeBelgradeSerbia Vinca Institute of Nuclear Science University of BelgradeBelgradeSerbia

Particles and fields represent two major modeling paradigms in pure and applied science at all. In this paper a methodology and some of the results for three-dimensional (3D) simulations that include both field and particle abstractions are presented. Electromagnetic field calculations used here are based on the discrete differential form representation of the finite elements method, while the Monte Carlo method makes foundation of the particle part of the simulations. The first example is the simulation of the feature profile evolution during SiO2 etching enhanced by Ar + /CF4 non-equilibrium plasma based on the sparse field method for solving level set equations. Second example is devoted to the design of a spiral inflector which is one of the key devices of the axial injection system of the VINCY Cyclotron.

关键词： Fields Particles Simulations Finite Elements inflector Profile Evolution Level Set Method

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