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DMPFIT: A Tool for Atomic-Scale Metrology via Nonlinear Least-Squares Fitting of Peaks in Atomic-Resolution TEM images

引用

Nanomanufacturing and Metrology 2022年第2期5卷 101-111页

作者： Hongchu Du Ernst Ruska-Centre for Microscopy and Spectroscopy with Electrons(ER-C2) Forschungszentrum Juelich GmbH52428JülichGermany Central Facility for Electron Microscopy(GFE) RWTH Aachen University52074AachenGermany

Despite the wide availability and usage of Gatan’s DigitalMicrograph software in the electron microscopy community for image recording and analysis, nonlinear least-squares fitting in DigitalMicrograph is less straightforward. This work presents a ready-to-use tool, the DMPFIT software package, written in DigitalMicrograph script and C++ language, for nonlinear least-squares fitting of the intensity distribution of atomic columns in atomic-resolution transmission electron microscopy (TEM) images with a general two-dimensional (2D) Gaussian model. Applications of the DMPFIT software are demonstrated both in atomic-resolution conventional coherent TEM (CTEM) images recorded by the negative spherical aberration imaging technique and in high angle annular dark field (HAADF) scanning TEM (STEM) images. The implemented peak-finding algorithm based on the periodicity of 2D lattices enables reliable and convenient atomic-scale metrology as well as intuitive presentation of the resolved atomic structures.

关键词： Quantitative TEM Nonlinear least-squares fitting image quantification image analysis Atomic-scale metrology

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