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  • 1 篇 ma ming-da zeng ...

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检索条件"主题词=High-mix process"
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A Survey of Run-to-Run Control Algorithms for high-mix Semiconductor Manufacturing processes
A Survey of Run-to-Run Control Algorithms for High-mix Semic...
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第三十届中国控制会议
作者： MA Ming-Da,ZENG Xian-Lin,DUAN Guang-Ren 1.Center for Control and Guidance Technology,Harbin Institute of Technology,Harbin 150001,P.R.China
The modeling and control of high-mix production system in semiconductor manufacturing impose great challenge for process *** different methods have been proposed to improve control performance of the high-mix *** this... 详细信息
来源： cnki会议 评论
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