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A high precision Software compensation algorithm for Silicon Piezoresistive Pressure Sensor

Chinese Journal of Electronics 2019年第4期28卷 748-753页

作者： WU Tianshu CHEN Shuyu WU Peng NIE Shaozhong College of Computer Science Chongqing University Chongqing Chuanyi Automation Co. Ltd.

There are generally zero drift, sensitivity drift and nonlinear error in silicon piezoresistive pressure sensors due to the inherent characteristics of semiconductor materials. It is necessary to compensate and correct the errors produced so as to meet the requirements of measurement accuracy. In order to further improve the compensation precision, based on the research of various basic software compensation methods, a surface fitting compensation algorithm based on least square method is designed, and the software is implemented on the Visual Basic platform. The experimental results show that the zero drift, sensitivity drift and nonlinear error is effectively eliminated, and the output precision of the sensor is greatly improved.

关键词： high precision compensation algorithm Least square method Surface fitting

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