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Impact of lanthanum on the modification of hfO_2 films structure

Journal of Rare Earths 2015年第8期33卷 857-862页

作者： T.P.Smirnova L.V.Yakovkina V.O.Borisov Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry SB RAS

Laxhf1-xOy thin films with various concentrations of La, homogeneous and nonhomogeneous distributions of elements throughout the films thickness was purposefully grown by CVD. The composition of the films and their chemical structures were characterized throughout the films thickness by X-ray photoelectron spectroscopy （XPS） and energy-dispersive X-ray spectrometry （EDXA）. A full picture of the film crystallinity was provided by the combination of grazing incidence X-ray diffraction （GIXRD） synchrotron radiation （SR） and high resolution transmission electron microscopy （HR TEM）. It was shown that La acted as ＂molar volume modulator＂ and stabilized the nonequilibrium at T≤1300 ℃ cubic phases. The samples with La content in range of 7 at.%〈CLa〈22 at.% were materials with fluorite-type （Fm-3m） structure. The pyroehlore phase formation was observed at -18 at.% La content. The correlation between the La-doped content and the films microstructure was revealed.

关键词： hf1-xlaxoy films solid solutions X-ray diffraction microstructure rare earths

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