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作者

  • 1 篇 杨旖秋
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检索条件"主题词=HTHPⅡa金刚石"
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高温高压与CVD金刚石单晶衬底质量对比研究
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人工晶体学报 2022年 第9期51卷 1777-1784页
作者： 杨旖秋 韩晓桐 胡秀飞 李斌 彭燕 王希玮 胡小波 徐现刚 王笃福 刘长江 冯志红 山东大学新一代半导体材料研究院 济南250100 山东大学晶体材料国家重点实验室 济南250100 济南金刚石科技有限公司 济南250100 专用集成电路国家级重点实验室 石家庄050051 中国电子科技集团公司第十三研究所 石家庄050051
本文通过高分辨X射线衍射(HRXRD)、激光拉曼光谱(Raman)、晶格畸变检测等测试分析方法对多组高温高压(hthp)Ⅰb、hthpⅡa和化学气相沉积(CVD)型(100)面金刚石单晶样品进行对比研究。HRXRD和Raman的检测结果均表明hthpⅡa型金刚石单晶的... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 博看期刊 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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