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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 化学工程与技术

主题

  • 1 篇 双面电镀铜
  • 1 篇 hast试验
  • 1 篇 可靠性
  • 1 篇 tgv通孔
  • 1 篇 填充模式
  • 1 篇 调控

机构

  • 1 篇 北京大学
  • 1 篇 厦门大学

作者

  • 1 篇 王翌旭
  • 1 篇 马盛林
  • 1 篇 肖雄
  • 1 篇 王燕
  • 1 篇 王其强
  • 1 篇 陈路明
  • 1 篇 张桐铨
  • 1 篇 王玮

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=HAST试验"
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TGV通孔双面电镀铜填充模式调控及工艺可靠性试验研究
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中国科学:化学 2023年 第10期53卷 2068-2078页
作者： 马盛林 陈路明 张桐铨 王燕 王翌旭 王其强 肖雄 王玮 厦门大学萨本栋微米纳米技术研究院 厦门361005 厦门大学化学化工学院 厦门361005 北京大学微纳电子学研究院 北京100871
通过双面电镀铜实现TGV(Through Glass Via)通孔部分实心填充,兼具TGV通孔密度高、TGV厚度尺寸范围大、热力学可靠性高、圆片级/板级工艺流程简单等优点,是“芯粒”2.5D/3D集成、光电共封装(Co-Packaged-Optics,CPO)等先进封装用TGV转... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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