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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 1 篇 离子束溅射
  • 1 篇 两步热处理
  • 1 篇 顺序沉积
  • 1 篇 gdalo3单一晶相薄...

机构

  • 1 篇 同济大学
  • 1 篇 中国科学院上海硅...

作者

  • 1 篇 罗岚
  • 1 篇 徐政
  • 1 篇 刘庆峰
  • 1 篇 刘茜

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=GdAlO3单一晶相薄膜"
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顺序离子束溅射沉积制备gdalo_3单一晶相薄膜技术
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同济大学学报（自然科学版） 2005年 第3期33卷 358-360,365页
作者： 罗岚 徐政 刘庆峰 刘茜 同济大学材料科学与工程学院 上海200092 中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室 上海200050
顺序沉积薄膜制备技术包括前驱薄膜制备和后期薄膜热处理技术 ,特别适合复杂组分的薄膜制备 .采用IM10 0离子束材料芯片沉积仪在MgO(10 0 )基片上顺序沉积Gd2 O3 和Al单层薄膜 ,经后续低温扩散和高温晶化两步热处理得到gdalo3 单一晶相... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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