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  • 1 篇 mocvd

机构

  • 1 篇 湖南大学
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  • 1 篇 可再生能源重点实...
  • 1 篇 南通大学

作者

  • 1 篇 宋祎萌
  • 1 篇 江洋
  • 1 篇 谭庶欣
  • 1 篇 胡小涛
  • 1 篇 李阳锋
  • 1 篇 苏兆乐
  • 1 篇 孔锐

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=GaN成核"
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预成核对蓝宝石衬底上生长氮化镓低温层的影响
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真空科学与技术学报 2023年 第2期43卷 149-155页
作者： 孔锐 苏兆乐 胡小涛 宋祎萌 李阳锋 谭庶欣 江洋 南通大学信息科学技术学院 南通226019 可再生能源重点实验室、北京市新能源材料与器件重点实验室北京市凝聚态物理国家实验室、中国科学院物理研究所 北京100190 北京科技大学数理学院 北京100083 湖南大学半导体学院(集成电路学院) 长沙410082
金属有机物化学气相沉积(MOCVD)技术以气相源的热分解反应作为基础,其适合规模化生产,是现今生长半导体材料的主要制备方式。在MOCVD生长gan的过程中,衬底表面初始条件直接影响到材料成核与生长,因此对于外延生长非常关键。本论文研究了... 详细信息
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