咨询与建议
  • 全部检索
  • 电子图书
  • 电子期刊
  • 纸本馆藏
  • 南通市公共图书馆
高级检索

限定检索结果

文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 硝酸钾
  • 1 篇 gan纳米孔
  • 1 篇 gan纳米薄膜(nms)
  • 1 篇 电化学刻蚀
  • 1 篇 横向刻蚀

机构

  • 1 篇 中国科学技术大学
  • 1 篇 中国科学院苏州纳...

作者

  • 1 篇 周桃飞
  • 1 篇 徐科
  • 1 篇 李昂
  • 1 篇 王伟凡
  • 1 篇 王建峰

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=GaN纳米孔"
共 1 条 记 录，以下是1-10 订阅
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到"检索档案"
详细 简洁
排序：
基于硝酸钾溶液的gan电化学刻蚀技术
收藏
分享
引用
半导体技术 2019年 第10期44卷 778-782,812页
作者： 李昂 王伟凡 周桃飞 王建峰 徐科 中国科学技术大学纳米技术与纳米仿生学院 合肥230026 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 江苏苏州215123
采用基于硝酸钾溶液的电化学刻蚀工艺,通过横向刻蚀牺牲层的方法,在金属有机化学气相沉积法生长的氮化镓(gan)外延层上实现了纳米孔与纳米薄膜两种结构。通过扫描电子显微镜(SEM)对gan的表面和截面进行了对比表征。结果表明,由于在刻蚀... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到“检索档案”
共1页 <<  < 1 >  >>
回到顶部
执行限定条件