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文献类型

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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 1 篇 退火
  • 1 篇 gaas基太阳能电池
  • 1 篇 减反射膜
  • 1 篇 等离子体增强化学...

机构

  • 1 篇 巴黎萨克雷大学
  • 1 篇 华南理工大学

作者

  • 1 篇 王斌
  • 1 篇 屈盛官
  • 1 篇 吴立宇
  • 1 篇 李小强

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=GaAs基太阳能电池"
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退火温度对PECVD法制备SiO2/Si3N4光学薄膜性能的影响
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材料工程 2020年 第12期48卷 75-81页
作者： 吴立宇 李小强 王斌 屈盛官 华南理工大学国家金属材料近净成形工程技术研究中心 广州510640 巴黎萨克雷大学国家科研中心联合实验室8182 法国奥赛91405
基于多层光学薄膜的基本原理及算法,采用等离子体增强化学气相沉积方法在gaas衬底上制备SiO2/Si3N4双层减反射膜,通过原子力显微镜(AFM)、傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)、椭圆偏振仪、X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱分析(XPS)、紫外-... 详细信息
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