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真空科学与技术学报 2020年第10期40卷 897-901页

作者：傅康王俊王帅上饶职业技术学院电子工程系上饶334109 郑州大学信息工程学院郑州450002

为了提高半导体电阻涂层的质量以及导电能力,利用磁控溅射技术在半导体硅基表面制备fecrni涂层,通过实验测试的手段研究磁控溅射功率对其组织及性能的影响。研究结果表明:随着溅射功率提高,FCC固溶体发生了(111)晶面取向生长的现象,结... 详细信息

为了提高半导体电阻涂层的质量以及导电能力,利用磁控溅射技术在半导体硅基表面制备fecrni涂层,通过实验测试的手段研究磁控溅射功率对其组织及性能的影响。研究结果表明:随着溅射功率提高,FCC固溶体发生了(111)晶面取向生长的现象,结晶度明显提高。当溅射功率增大后,有助于涂层中形成结构简单的固溶体组织,提高了涂层结晶度,涂层发生择优生长现象。在各溅射功率下fecrni涂层跟基底间达到了紧密结合的程度。较大溅射功率有助于形成了能量更高溅射原子,促进柱状组织发生更快生长,在涂层内形成了尺寸更大的晶粒。随着溅射功率的提高,涂层组织形成了更小的晶格常数。提高功率后,fecrni涂层发生了硬度减小,引起了晶粒粗化。随着功率提高,电阻率发生了逐渐减小,生成了许多柱状晶组织。

关键词：磁控溅射功率 fecrni涂层微观组织硬度电阻率

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扩散处理后的fecrni涂层结合强度与断口特征研究

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表面技术 2012年第5期41卷 64-69页

作者：殷秀银柏立庆吴玉萍上海锐漫机械制造有限公司上海200245 河海大学力学与材料学院南京210098

对无底层和有NiCrAl底层的fecrni涂层进行扩散处理,之后使涂层在机械作用力下断裂,通过观察断面的SEM形貌,研究了涂层的断裂机制、涂层与基体间以及涂层内部颗粒间的结合状态,分析了扩散处理提高涂层结合强度的机理。涂层的断口基本上... 详细信息

对无底层和有NiCrAl底层的fecrni涂层进行扩散处理,之后使涂层在机械作用力下断裂,通过观察断面的SEM形貌,研究了涂层的断裂机制、涂层与基体间以及涂层内部颗粒间的结合状态,分析了扩散处理提高涂层结合强度的机理。涂层的断口基本上呈现出由暗色区域、白亮区域和未熔颗粒构成。暗色区域内断口面主要为层状剥离断裂;白亮区域内部含有滑移带和台阶面,断裂以脆性解理和塑性滑移混合方式进行。

关键词： fecrni涂层断口形貌扩散处理滑移带结合强度

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强流脉冲电子束FeCrAl及fecrni电弧喷涂层表面改性组织及性能

强流脉冲电子束FeCrAl及FeCrNi电弧喷涂层表面改性组织及性能

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作者：贺冬云大连理工大学

学位级别：硕士

电弧喷涂技术制备的涂层质地比较疏松,表面存在孔隙和空洞,并伴有氧化物夹杂,这些缺陷在服役中会引起涂层过早破坏失效,需要采用后处理手段加以克服。本文使用SOLO-M型和HOPE-I型强流脉冲电子束设备对电弧喷涂FeCrAl、fecrni涂层进行表... 详细信息

电弧喷涂技术制备的涂层质地比较疏松,表面存在孔隙和空洞,并伴有氧化物夹杂,这些缺陷在服役中会引起涂层过早破坏失效,需要采用后处理手段加以克服。本文使用SOLO-M型和HOPE-I型强流脉冲电子束设备对电弧喷涂FeCrAl、fecrni涂层进行表面改性处理,通过OM、SEM、XRD、XRF、EPMA等手段表征处理前后试样的微观组织结构,并对处理前后的表面分别进行显微硬度、耐磨性以及耐蚀性能测试与分析,讨论强流脉冲电子束处理参数对涂层表面改性效果的影响,获得以下结果：使用长脉宽和高能量密度电子束处理FeCrAl涂层,表面孔隙和空洞明显减少,局部致密平整,表面形成半球形凸起结构,成分为Fe-Cr柱状晶。XRD分析表明,电子束处理后涂层中Fe203相消失,致密相α-A1203明显增加,EPMA结果显示氧化铝主要富集在涂层表层。对Fe-Cr柱状晶半球形结构的形成机理进行解释,认为强流脉冲电子束轰击引起涂层表面熔化,表面熔层在液固界面能最小化作用驱动下收缩成半球形形貌,在随后的快速凝固过程中柱晶生长迅速,柱晶端部的高梯度及狭窄液固共存区抑制其侧向分枝的产生和发展。测试结果表明,强流脉冲电子束处理后的FeCrAl涂层在高温盐腐蚀实验中表现出良好的耐腐蚀性,经脉宽50μs处理的FeCrAl涂层耐电化学腐蚀性能(3.5%NaCl水溶液)得到明显提高。分析表明,强流脉冲电子束处理的剥落效应、Fe-Cr柱晶生长过程中的排质作用,使涂层中Fe203相消失;同时表面局部光滑平整区的出现、孔洞和裂纹的减少,以及表面成分的均匀化使处理后涂层的耐腐蚀性得到明显改善。使用短脉宽强流脉冲电子束处理fecrni涂层,改性表面致密平整,局部有喷发后的火山坑存在。随脉冲处理次数的增加,表面改性层中铁素体含量增加,奥氏体含量减少,处理10-20次脉冲后两相比例接近1：1。两相比例相近的改性组织可以有效阻碍微裂纹的扩展,相界面增加制约了处理时晶粒的长大,涂层材料表现出双相不锈钢的某些优点。测试结果显示,强流脉冲电子束处理fecrni涂层的表面显微硬度提高,磨损性能和耐蚀性均得到改善。分析表明,涂层致密性和平整度的提高,表面相成分的改善,以及元素分布差异等因素影响,对涂层性能的提高起到重要作用。

关键词：强流脉冲电子束电弧喷涂 FeCrAl涂层 fecrni涂层表面组织性能

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