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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 电气工程
    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 电荷耦合器件
  • 1 篇 表面光电压
  • 1 篇 氧化工艺
  • 1 篇 fe离子沾污

机构

  • 1 篇 重庆光电技术研究...

作者

  • 1 篇 李贝
  • 1 篇 林海青
  • 1 篇 李仁豪
  • 1 篇 向华兵
  • 1 篇 廖乃镘

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=Fe离子沾污"
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表面光电压法研究氧化工艺铁离子沾污
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半导体光电 2013年 第4期34卷 600-602,606页
作者： 廖乃镘 林海青 向华兵 李贝 李仁豪 重庆光电技术研究所 重庆400060
表面光电压法(SPV)能精确测量硅片的fe离子浓度,是一种快速、非破坏性的高灵敏度测试方法。采用表面光电压技术研究了氧化工艺中的fe离子沾污。研究表明,氧气、氮气、三氯乙烯中含有的微量杂质是氧化工艺中fe离子沾污的主要来源。通过... 详细信息
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