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  • 1 篇 fe沾污
  • 1 篇 化学腐蚀
  • 1 篇 硅片
  • 1 篇 表面状态

机构

  • 1 篇 有研半导体材料有...
  • 1 篇 北京有色金属研究...

作者

  • 1 篇 宁永铎
  • 1 篇 钟耕杭
  • 1 篇 肖清华
  • 1 篇 刘斌
  • 1 篇 赵江伟
  • 1 篇 周旗钢

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=Fe沾污"
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化学腐蚀后的表面状态对硅片fe沾污的影响
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稀有金属 2021年 第1期45卷 62-69页
作者： 赵江伟 宁永铎 周旗钢 钟耕杭 刘斌 肖清华 北京有色金属研究总院 北京100088 有研半导体材料有限公司 北京100088
利用不同的酸腐蚀和碱腐蚀条件对硅片进行了腐蚀,分析了腐蚀后的硅片表面状态对fe沾污的影响。实验结果表明,不同酸腐蚀条件的硅片经过以HF酸结尾的改进型RCA(Radio Corporation of America)清洗法清洗后,表面疏水性增强,相对不易附着F... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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