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Optical transmitter module with hybrid integration of dfb laser diode and proton-exchanged LiNbO_(3)modulator chip

Journal of Semiconductors 2022年第6期43卷 34-39页

作者： Xuyang Wang He Jia Junhui Li Yumei Guo Yu Liu State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics Institution of SemiconductorsChinese Academy of SciencesBeijing 100083China University of Chinese Academy of Sciences Beijing 100049China Beijing Shiweitong Science&Technology Co. Ltd.Beijing 100176China

In this work,a hybrid integrated optical transmitter module was designed and fabricated.A proton-exchanged Mach–Zehnder lithium niobate(LiNbO_(3))modulator chip was chosen to enhance the output extinction ratio.A fiber was used to adjust the rotation of the polarization direction caused by the optical *** whole optical path structure,including the laser chip,lens,fiber,and modulator chip,was simulated to achieve high optical output *** a series of process improvements,a module with an output extinction ratio of 34 dB and a bandwidth of 20.5 GHz(from 2 GHz)was *** optical output efficiency of the whole module reached approximately 21%.The link performance of the module was also measured.

关键词： optical transmitter module hybrid integration dfb laser chip LiNbO3 modulator chip

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