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Microstructure of flow pattern defects in boron-doped czochralski-grown silicon
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Rare Metals 2006年 第4期25卷 389-392页
作者： LIU Caichi HAO Qiuyan ZHANG Jianfeng TENG Xiaoyun Sun Shilong Qigang Zhou WANG Jing XIAO Qinghua Institute of Information Functional Materials Hebei University of Technology Tianjin 300130 China General Re search Institute of Non-ferrous Metals Beijing 100088 China
The morphology and microstructure of flow pattern defects （FPDs） in lightly boron-doped czochralski-grown silicon （Cz-Si） crystals were investigated using optical microscopy and atomic force microscopy. The experi... 详细信息
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