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Theoretical investigations on the growth of graphene by oxygenassisted chemical vapor deposition

Nano Research 2024年第6期17卷 4645-4650页

作者： Xiaoli Sun Chaojie Yu Yujia Yang Zhihao Li Jianjian Shi Wanjian Yin Zhongfan Liu Beijing Graphene Institute(BGI) Beijing 100095China School of Physics and Electronics Shandong Normal UniversityJinan 250014China College of Energy Soochow Institute for Energy and Materials InnovationsLight Industry Institute of Electrochemical Power SourcesSUDA-BGI Collaborative Innovation CenterSoochow UniversitySuzhou 215006China School of Electronic Engineering Chengdu Technological UniversityChengdu 611730China Center for Nanochemistry Beijing National Laboratory for Molecular SciencesCollege of Chemistry and Molecular EngineeringPeking UniversityBeijing 100871China

Recently,graphene has drawn considerable attention in the field of electronics,owing to its favorable conductivity and high carrier *** to the industrialization of graphene is its high-quality microfabrication via chemical vapor ***,many problems remain in its preparation,such as the not fully understood cracking mechanism of the carbon source,the mechanism of its substrate oxidation,and insufficient defect repair *** help close this capability gap,this study leverages density functional theory to explore the role of O in graphene *** effects of cu substrate oxidation on carbon source cracking,nucleation barriers,crystal nucleus growth,and defect repairs are *** was found to reduce energy change during dehydrogenation,rendering the process ***,the adsorbed O in graphene or its cu substrate can promote defect repair and edge growth.

关键词： density functional theory oxygen-assisted graphene growth chemical vapor deposition cu substrate

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