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Automatic Measurement of Silicon lattice Spacings in High-Resolution Transmission Electron Microscopy Images Through 2D Discrete Fourier Transform and Inverse Discrete Fourier Transform

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Nanomanufacturing and Metrology 2022年第2期5卷 119-126页

作者： Fang Wang Yushu Shi Shu Zhang Xixi Yu Wei Li National Institute of Metrology Beijing100029China Shenzhen Institute for Technology Innovation National Institute of MetrologyShenzhen518038China

Line width(i.e.,critical dimension,CD)is a crucial parameter in integrated circuits.To accurately control the CD in manufacturing,a reasonable CD measurement algorithm is required.We develop an automatic and accurate method based on a two-dimensional discrete Fourier transform for measuring the lattice spacings from high-resolution transmission electron microscopy images.Through the two-dimensional inverse discrete Fourier transform of the central spot and a pair of symmetrical diffraction spots,an image containing only a set of lattice spacings is obtained.Then,the pixel span of the lattice spacing is calculated through the centre of gravity method.Finally,we estimate the standard CD value according to the half-intensity method.The silicon crystal lattice constant guarantees the accuracy and traceability of the CD value.Through experiments,we demonstrate the efficiency of the proposed method,which can be conveniently applied to accurately measure CDs in practical applications.

关键词： Transmission electron microscopy Line width crystal lattice constant Traceability

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新疆××金矿主要矿物的标型特征及其意义

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新疆大学学报(自然科学版) 1988年第2期 62-69页

作者：苗锡仲

摘要黄铁矿的反射率均低于标准黄铁矿。含金黄铁矿的晶胞参数a0为5.4170A—5.4175A、热电系数为正值。在600—200(cm-1)波数内,红外光谱曲线的吸收谷较为开阔,且随含金量的增加有向长波方向产生系统位移的趋势。在其求I矿,氧、氢和碳的... 详细信息

摘要黄铁矿的反射率均低于标准黄铁矿。含金黄铁矿的晶胞参数a0为5.4170A—5.4175A、热电系数为正值。在600—200(cm-1)波数内,红外光谱曲线的吸收谷较为开阔,且随含金量的增加有向长波方向产生系统位移的趋势。在其求I矿,氧、氢和碳的同位素丰度是:δOSiO21811.93—16.3‰、δOH212O-1.06—4.34‰、δD—84.4—-128.8‰、δC13-12.92—-17.22‰。在石英的包裹体气相中,CH4/CO2值为0.009—0.056,在液相中,l7矿脉富K+,l17矿脉的K+、Na+相等,其它均为富Na+型。离子组合及矿化度与岩体一致,矿化度属淡水型。文中还提出了说明矿床成因的地质年龄、化探成果、稳定同位素和流体包裹体成分的依据,补充了找矿评价的硫化物存在、黄铁矿的热电系数和红外谱标志。

关键词： reflectivity crystal lattice constant thermoelectricity coefficient infrared spectrum curved line stable isotopes chemical compositions of gas-liquid inclusion

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