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High Resolution clinometers for Measurement of Roll Error Motion of a Precision Linear Slide

Chinese Journal of Mechanical Engineering 2018年第5期31卷 8-16页

作者： Yuki Shimizu Satoshi Kataoka Wei Gao Department of Finemechanics Tohoku University

This paper proposes a new method for measurement of the roll error motion of a slide table in a precision linear slide. The proposed method utilizes a pair of clinometers in the production process of a precision linear slide, where the roll error motion measurement will be carried out repeatedly to confirm whether the surface form errors of slide guideways in the linear slide are su ciently corrected by hand scraping process. In the proposed method, one of the clinometers is mounted on the slide table, while the other is placed on a vibration isolation table, on which the precision linear slide is mounted, so that influences of external disturbances can be cancelled. An experimental setup is built on a vibration isolation table, and some experiments are carried out to verify the feasibility of the proposed method.

关键词： Linear slide clinometer Rotational error motion measurement

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