检索结果-南通市图书馆

Recovery Method of Pyrolytic Carbon Surface after Exposure to chlorine trifluoride Gas

Advances in Chemical Engineering and Science 2021年第1期11卷 65-76页

作者： Masaya Hayashi Keisuke Kurashima Hitoshi Habuka Akio Ishiguro Shigeaki Ishii Yoshiaki Daigo Hideki Ito Ichiro Mizushima Yoshinao Takahashi Yokohama National University Hodogaya Yokohama Japan NuFlare Technology Inc. Yokohama Japan KANTO DENKA KOGYO CO. LTD. Marunouchi Chiyoda Tokyo Japan

An annealing process was developed for the practical recover of a purified py-rolytic carbon (PPyC) surface from damage, such as color change and peeling, due to fluorination during exposure to chlorine trifluoride gas at high tempera-tures for the cleaning of a silicon carbide chemical vapor deposition reactor. The PPyC surface was annealed at 900°C for 10 min in ambient nitrogen con-taining oxygen at the concentrations of 0.01% - 20%. The rainbow-like colored surface returned to the dark gray color of the original PPyC. Simultaneously, the thin peeled films disappeared. The Raman spectra showed that the PPyC surface chemical bonding returned to that of the original one. The oxygen concentration as low as 0.01% could recover the PPyC surface along with re-ducing the surface pit formation, when the combination of the exposure to chlorine trifluoride gas and the recovery was repeated.

关键词： Pyrolytic Carbon Recovery chlorine trifluoride Fluorine Out-Diffusion Annealing

来源：

维普期刊数据库评论

在线全文

维普期刊数据库

学校读者我要写书评

暂无评论

欢迎您,

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

欢迎您,

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：