咨询与建议
  • 全部检索
  • 电子图书
  • 电子期刊
  • 纸本馆藏
  • 南通市公共图书馆
高级检索

限定检索结果

文献类型

  • 1 篇 学位论文

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 1 篇 同质外延
  • 1 篇 mpcvd方法
  • 1 篇 cvd单晶金刚石
  • 1 篇 cvd多晶膜

机构

  • 1 篇 吉林大学

作者

  • 1 篇 王启亮

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=CVD多晶膜"
共 1 条 记 录，以下是1-10 订阅
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到"检索档案"
详细 简洁
排序：
MPcvd法制备多晶和单晶金刚石及性质研究
MPCVD法制备多晶和单晶金刚石及性质研究
收藏
分享
引用
作者： 王启亮 吉林大学
学位级别：硕士
本文采用MPcvd(Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition)方法,制备多晶金刚石膜和单晶金刚石。在硅衬底上沉积高质量的自支撑透明金刚石膜,研究了加入氮气和氧气对其性质的影响。在单晶金刚石生长方面,通过加入氮气,在金刚石籽晶... 详细信息
来源： 同方学位论文库 同方学位论文库 评论
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到“检索档案”
共1页 <<  < 1 >  >>
回到顶部
执行限定条件